| 例如氮化钛的典型动态沉积速率DDR为400Å.mm2/w.s，靶的溅射功率170kw，设备标称镀膜玻璃宽度2134mm（靶材的溅射沟槽周长5344mm），玻璃在镀膜室运行速度106mm/s，则沉积在玻璃表面的氮化钛膜层厚度＝400×170000÷（106×5344）＝120 Å
在式⑴中，动态沉积速率DDR和溅射沟槽周长都是常数，其比值可以用系数K来表示，
膜层厚度＝K×功率÷速度＝K*C … … ⑵
C（w.s/mm）＝功率（w）÷速度（mm/s）
从式⑵中可以看出，膜层厚度随靶材溅射功率的增加而增加，随玻璃运行速度的增加而减小，若玻璃运行速度的增加幅度和靶材溅射功率的增加幅度相同，则膜层厚度不变。在生产过程中为了提高生产效率，我们希望玻璃运行速度尽可能快，但溅射功率不能无穷大，有一个上限，因此总是先将功率定为最大值，然后调节速度。
4.2 几种常见膜系颜色的调整方法
4.2.1 玻璃/氮化钛膜系
氮化钛膜层C值(w.s/mm)
可见光透过率(%)
L*
a*
b*
9655
7.0
47.62
2.13
9.74
7179
12.8
51.0
-2.18
3.81
4375
23.6
46.38
-2.79
-5.66
3182
30.9
40.53
-2.44
-7.82
2523
37.2
36.02
-2.15
-8.04
2059
42.2
32.37
-1.93
-7.33
1761
46.7
29.91
-1.50
-6.54
1522
50.0
28.32
-1.36
-5.55
从上表可以看出, 随着玻璃表面氮化钛膜层厚度(C值)的减小,镀膜玻璃可见光透过率越来越高，L*值越来越小，表示玻璃越来越不亮；a*值先逐渐降低，过转折点后逐渐升高，呈小V形曲线，转折点在可见光透过率23.6％－30.9％之间；b*值先逐渐降低，过转折点后逐渐升高，也呈V形曲线，转折点在可见光透过率37.2％－42.2％之间。
4.2.2 玻璃/氮化不锈钢/氮化钛膜系
氮化不锈钢膜层C值(w.s/mm)
氮化钛膜层C值(w.s/mm)
可见光透过率(%)
L*
A*
b*
696
1685
18.1
53.03
-1.75
-0.91
696
1413
18.7
51.97
-1.59
-0.23
696
978
19.0
49.71
-1.37
0.71
174
1685
25.4
44.78
-1.41
-2.30
174
1413
27.6
43.35
-1.31
-1.90
174
978
29.2
40.57
-1.12
-0.31
130
1685
40.4
32.23
-1.81
-6.48
130
1413
45.9
29.78
-1.46
-5.61
130
978
59.3
26.44
-1.19
-3.43
从上表可以看出，保持玻璃表面第一层氮化不锈钢膜层厚度(C值)不变,随着第二层氮化钛膜层厚度(C值)的减小,镀膜玻璃可见光透过率越来越大，L*值越来越小，表示玻璃越来越不亮；-a*值略有减小，幅度不大，表示玻璃越来越不绿；- b*值越来越小,表示玻璃越来越不兰。保持玻璃表面第二层氮化钛膜层厚度(C值)不变，随着第一层氮化不锈钢膜层厚度(C值)的减小,镀膜玻璃可见光透过率越来越大，L*值越来越小，表示玻璃越来越不亮；-a*值先逐渐下降，过转折点后逐渐上升，呈小V形曲线，幅度不大，转折点在可见光透过率27％左右；- b*值越来越大，表示玻璃越来越兰。
4.2.3 玻璃/不锈钢/氮化钛膜系
不锈钢膜层C值(w.s/mm)
氮化钛膜层C值(w.s/mm)
可见光透过率(%)
L*
a*
b*
264
2264
9.2
64.86
-2.77
-0.64
132
2264
17.7
54.14
-2.05
-2.19
75
2264
26.4
44.64
-1.82
-4.67
264
1509
9.9
63.78
-2.67
-0.11
132
1509
20.1
50.90
-1.93
-1.01
75
1509
30.8
40.24
-1.39
-2.65
264
755
10.1
61.92
-2.54
0.68
132
755
22.2
47.47
-1.61
-0.33
75
755
36.8
35.23
-0.99
-0.70
从上表可以看出，保持玻璃表面第一层不锈钢膜层厚度(C值)不变,随着第二层氮化钛膜层厚度(C值)的减小,镀膜玻璃可见光透过率越来越大，L*值越来越小，表示玻璃越来越不亮；-a*值越来越小，表示玻璃越来越不绿；- b*值越来越小，表示玻璃越来越不兰。保持玻璃表面第二层氮化钛膜层厚度(C值)不变，随着第一层不锈钢膜层厚度(C值)的减小,镀膜玻璃可见光透过率越来越大，L*值越来越小，表示玻璃越来越不亮；-a*值越来越小，表示玻璃越来越不绿；- b*值越来越大（b*值越来越小），表示玻璃越来越兰。 2/3 首页 上一页 1 2 3 下一页 尾页 |
